探針臺

本體

電壓電流（可定制）

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

500V/1A(標準)

材料

航空鋁

卡盤大小

6" ,360 度轉動, 可微調

8"  ，360 度轉動  ，    可微調

12" ，360 度轉動 ，可微調

卡盤行程和精度

6"*6"  ，精度 1um，

8"*8"  ，精度  1um，

12"*12  ，精度 1um

卡盤氣浮移動范圍

360 度快速移動，便于快速定位 ，提高測試效率

卡盤拉出功能

卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80% ，便于更換樣品

卡盤吸附方式

真空吸附 , 可選擇環形吸附或者多孔吸附   (適用于薄片或者射頻器件)

背電極測試功能

具備 樣品臺電學獨立懸空  ， 帶 4mm 香蕉頭插口

腔體

帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜

溫控

溫度范圍

-60-300℃

-60-300℃

-60-300℃

溫控精度

溫度分辨率  ：    0.01°C

類型

同軸/三同軸/高壓

低控溫速率

±0.1°C   /小時

制冷方式

氣冷  (自動控溫)

針座平

臺

材質

U 型平臺  ，    鍍鎳  ，    與探針座之間具備更強吸附力

大小

最多可放置6個探針座

最多可放置8個探針座

最多可放置8個探針座

升降平臺

二階抬桿一次性6mm，接觸，分離；微調行程為50mm，分辨率為1um

顯示系

統

顯微鏡成像系統

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統

倍率范圍

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結構  ，    XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ，    精度 1um

CCD 成像系統

200 萬/500 萬像素  ，    幀率 60fps ，帶拍照、     錄像、     測量功能

探針座

種類

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

夾具

漏電精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率

電力需求

220V/50HZ